產(chǎn)品介紹
TB系列明場納米圖形晶圓缺陷檢測設(shè)備為全自動寬波段圖形晶圓檢測系統(tǒng)，可為8寸/12寸晶圓提供高效、高靈敏度的缺陷檢測，可廣泛應用在前道工藝層中，滿足不同工藝節(jié)點缺陷檢測需求。
晶圓缺陷檢測
DEFECT DETECTION
明場納米圖形晶圓缺陷檢測設(shè)備
Broad Band Bright Field Wafer Defect Inspection System
產(chǎn)品特點
高靈敏度，可偵測更多類型關(guān)鍵缺陷
高數(shù)據(jù)通量和高性能數(shù)據(jù)處理，有效提高WPH
采用先進信號處理算法，顯著提高信噪比
支持智能在線缺陷分類功能
